鈦合金棒在吸附泵中的使用
分類：新聞資訊 發(fā)布時(shí)間：2016-11-08 14:56:42 瀏覽量：
為了使器件獲得高真空，所采用的油擴(kuò)散泵，固然能保證高的抽速，但它卻存在著許多嚴(yán)重不足之處：有各種碳?xì)浠衔铮捌錈崃旬a(chǎn)物，嚴(yán)重污染真空空間。當(dāng)碳?xì)浠衔锎嬖谟陔娬婵掌骷袝r(shí)，它們常使器件工作時(shí)，極不穩(wěn)定，因而降低了器件的壽命與可靠性。在發(fā)生氣體放電的空間，由于與氣體離子或電子碰撞，而被聚合成碳?xì)浠衔锏奈镔|(zhì)，會(huì)凝聚在器件壁上。當(dāng)有帶電質(zhì)點(diǎn)碰上器件壁，或者在某些工作器件中，受到不斷產(chǎn)生的弱x射線輻照，將會(huì)形成像一氧化碳、二氧化碳及氫等這樣的一些氣體。有時(shí)會(huì)在管子的零件上，因氫還原一氧化碳而形成水蒸汽，因此降低了器件的質(zhì)量。
近年來發(fā)表了許多文章，目的在于改進(jìn)無油高真空泵和克服油泵的固有缺點(diǎn)。在評述性文章中指出，采用輔助升華泵的離子泵，是發(fā)展真空技術(shù)中有代表性的趨勢，同時(shí)在各種結(jié)構(gòu)的高真空泵內(nèi)，廣泛地采用鈦合金棒作為吸氣劑。 在離子泵內(nèi)采用鈦合金棒陰極。鈦合金棒的激活作用，是基于離子按擊鈦原子(這時(shí)新鮮的鈦層，起著吸氣劑的作用。)和“捕獲”撞上鈦陰極的離子。
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